一种通过表面结晶改善二氧化硅光学特性的方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号CN201710260877.8（22）申请日2017.04.20（71）申请人清华大学
地址100084北京市海淀区清华园

（10）申请公布号CN107138372A
（43）申请公布日2017.09.08
（72）发明人谢志鹏;孙思源;葛一瑶;田兆波;张杰（74）专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人张文宝
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称
一种通过表面结晶改善二氧化硅光学特性的方法
（57）摘要

一种通过表面结晶改善二氧化硅光学特性

的方法，包含以下步骤：(1将化学改性后的纳米二氧化硅溶胶颗粒均匀涂于硅片上；(2将步骤(1中涂有二氧化硅的硅片在炉子中进行高压惰性气体热处理，热处理温度为100‑1800℃，气体压力为0.1‑6MPa，热处理时间为1‑10h，得到颗粒表面部分结晶的均匀二氧化硅膜层。经过高压惰性气氛快速升降温热处理的二氧化硅膜层，光学特性有所改善，折射率提高且连续可调，可作为太

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/9897bca1a100a6c30c22590102020740bf1ecdec.html