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正在进行安全检测...

发布时间：2024-03-08 11:11:12 来源：文档文库

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201911133108.7 （22）申请日 2019.11.19
（71）申请人安徽英发睿能科技股份有限公司

地址 239300 安徽省滁州市天长市经济开发区经六路、纬三路

（10）申请公布号 CN110718494A
（43）申请公布日 2020.01.21
（72）发明人张杰
（74）专利代理机构北京细软智谷知识产权代理有限责任公司

代理人张肖
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

自动化硅片输送装置
（57）摘要

本申请涉及硅片镀膜技术领域，尤其涉及
一种自动化硅片输送装置，包括用于装载硅片并进行背面镀膜的背膜石墨舟；用于装载硅片并进行正面镀膜的正膜石墨舟；位于背膜石墨舟和正膜石墨舟之间的中转变节距，中转变节距上设置有多个用于承载硅片的承载位；用于将背膜石墨舟中的硅片装载到承载位的第一机械臂和用于将承载位的硅片装载到正膜石墨舟的第二机械臂，第一机械臂和第二机械臂的活动端均设置有用于
吸附硅片的装载吸盘。如此设置，通过第一机械臂和第二机械臂转运硅片，避免了背膜工艺到正膜工艺的人工搬运流程，有利于节省人力和资源；而且硅片的装卸只完成一次，减少对硅片造成的损伤。
法律状态
法律状态公告日
2020-01-21 2020-01-21 2020-02-21
法律状态信息
公开公开
实质审查的生效
法律状态
公开公开
实质审查的生效

权利要求说明书
自动化硅片输送装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书
自动化硅片输送装置的说明书内容是....请下载后查看

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/55629c479c3143323968011ca300a6c30c22f194.html