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正在进行安全检测...

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201310451948.4 （22）申请日 2013.09.28
（71）申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司

地址 110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号

（10）申请公布号 CN104511907A
（43）申请公布日 2015.04.15
（72）发明人徐方;赵嘉博;李学威;宋吉来;何伟全;张一博（74）专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人许宗富
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置
（57）摘要

本发明涉及机械手技术领域，提供了一种
手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置。其中机械手包括：至少2个手指单元；至少2个调节杆，调节杆的一端与手指单元转动连接，调节杆（的另一端与第一滑块转动连接；第一滑块沿第一导轨运动，第一导轨沿手指单元的机械手指方向设置；手指单元的侧边设有第二导轨，第二导轨沿竖直方向设置，手指单元通过第二滑块沿第二导轨运动；第一滑块沿第一导轨运动，驱动调
节杆转动呈收缩或放开状态，带动手指单元沿第二导轨做上下运动。本发明实现了对机械手指间距的有效调节。
法律状态
法律状态公告日
2015-04-15 2015-05-13 2017-04-12
法律状态信息
公开
实质审查的生效授权
法律状态
公开
实质审查的生效授权

权利要求说明书
手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书
手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置的说明书内容是....请下载后查看

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/3851a74fcad376eeaeaad1f34693daef5ff71347.html

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