1目的：
清理热场的杂质，规范煅烧的步骤。
2范围：
本文件适合CSI阿特斯长晶切片事业部单晶拉制车间CL90型单晶炉煅烧20〞热场使用
3定义：
无
4职责:
4.1 生产部门
4.1.1 按照工艺文件的流程、要求煅烧热场
4.2 质量部门
4.2.1 按照工艺文件上的步骤、参数要求，对整个煅烧过程进行监督
4.3 设备部门
4.3.1 保证设备正常运行
4.4 工艺部门
4.4.1 制定、改进工艺文件，对煅烧过程中出现的问题进行分析、解决
5煅烧步骤：
5.1在炉室真空达到要求后，(3帕以下) 充氩气，炉压控制在1300帕左右，石墨件煅烧时，从升低温到中温、高温要求严格控制慢升温；
5.2按加热启动按扭，升功率30-50KW(低温功率)，通常15分钟后石墨加热器就发亮，检查炉膛是否有热点，是否有火花以及漏电；
注：煅烧时如果电流表和电压表同时摆动就要降低氩气流量直到现象消除；
5.3一旦石墨发亮，再调温度控制器，升功率50-80KW，继续观察电流表和电压表，观察是否有同时摆动现象，如果有，就降功率。控制炉压1300帕，低温烘烤半小时。
5.4炉子在低温稳定后，手动升功率到中温，恒温1-2小时(旧石墨1小时，新石墨2小时)。中温稳定烧足时间后，继续升高温80-105KW，严格要求中温到高温阶段升温速度不能太快，加功率幅度不能大，分多次慢速升至高温功率。恒温1-2小时。（旧石墨1小时，新石墨2小时）
5.5停加热，关氩气，抽真空，观察真空度上升情况，直到接近8帕或更低；
5.6降中温充氩气烧（旧石墨半小时，新石墨1小时）后，降功率，关闭加热电源，温度控制器输出为0，开炉前进行漏气速率检查，检查时让上、下轴都转动；
5.7新石墨系统煅烧时，升温速度要缓慢，升温速度取决于石墨的纯度，升温时特别要注意表的摆动现象，欧陆控制器置手动，关闭氩气、晶升、晶转、埚转等，抽空30分钟后停炉。如两表同时摆动
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