1 l/min＝0.06m3/hrNote: 1kg/cm2 ≈ 1atmBulk Gas 一般流速为10m/s (压力7.5kg/cm2); Ar 、He < 10~15m/s; SiH4、PH3<5m/s; CO2、NH3<1~5m/s Special Gas : NH3、N2O 、HCL 、BCL3、HF 、HBr 、SF6等液态气体，流速应小于1m/s273*033.1)(*)(*3600)/(2atm P m A s m LV +=
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