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正在进行安全检测...

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610328896.5 （22）申请日 2016.05.18 （71）申请人南京信息工程大学

地址 210019 江苏省南京市建邺区奥体大街69号

（10）申请公布号 CN106053393A
（43）申请公布日 2016.10.26
（72）发明人倪海彬;刘清惓;常建华;王婷婷;倪波（74）专利代理机构南京钟山专利代理有限公司

代理人戴朝荣
（51）Int.CI

G01N21/47; B82Y40/00;
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法（57）摘要

本发明公开了一种基于纳米共轴腔结构和
表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法。其主要结构是由纳米金属共轴腔阵列，共轴腔内填充的凝胶以及反射式光纤探头构成。湿度传感原理是共轴腔内填充的凝胶的折射率会受周围环境相对湿度变化的影响，共轴腔内折射率
的微小变化会引起共轴腔内表面等离激元谐振峰的偏移，表现在反射光谱上就是反射极小值的偏移。反射光谱极小值值波长和相对湿度有一一对应关系，由反射极小值波长可以计算得到相对湿度。其主要制作步骤为:采用纳米球自组装法制作单层复合微球阵列，经刻蚀、镀膜形成共轴腔阵列，再均匀填充凝胶即可。本发明形成的相对湿度传感器是全光工作器件，可以实现全光传感网络。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2016-10-26 公开 2016-10-26 公开
2016-11-23 实质审查的生效 2016-11-23 实质审查的生效
2019-12-06
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开公开
实质审查的生效实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书
一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书
一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法的说明书内容是....请下载后查看

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/b24b0fae50d380eb6294dd88d0d233d4b14e3f8c.html

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