纳米TiO2-ITO复合薄膜的光诱导亲水性研究(1)

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书山有路勤为径,学海无涯苦作舟
纳米 TiO2/ITO 复合薄膜的光诱导亲水性研究(1 1972 年日本东京大学的 Fujishima Honda 报道的 TiO2 光解水制氢被 看作是多相光催化时代开始的标志 1977 Bard TiO2 作光催化剂将 CN- 化为 OCN-开创了光催化剂处理污水的先河。TiO2 是一种具有高折射率、高透 过率、耐磨性能好和化学性能稳定的半导体光催化剂 ,在电致变色薄膜、光学薄 膜、太阳电池和热镜等众多领域有着广阔的应用前景。1997 ,Fujishima 等发 :在紫外光照射下,TiO2 多晶薄膜表面水的润湿角逐渐下降至 0°,当停止光 ,润湿角又逐渐增大,直至恢复到原始状态,他们称这种现象为光诱导超亲水性。 这种特性使 TiO2 薄膜的研究和应用领域进一步扩大,汽车后视镜、浴室镜、窗 玻璃、建筑物幕墙、高速公路护栏以及公路路灯等很难清洁的设施表面涂覆一 TiO2 薄膜后,在太阳光照射下即可实现自洁净功能。这不仅节省了人力、物 ,而且还利用了太阳能。近年来,光诱导 TiO2 薄膜亲水性能的研究已成为光催 化技术领域的研究热点之一。
目前,商用 TiO2 薄膜的制备方法主要有溶胶-凝胶法(Sol-gel 和溅射法。 Sol-gel 法制备的薄膜虽具有优良的光催化活性,但不适宜大面积镀膜,作为建 筑用玻璃和汽车挡风玻璃缺乏耐磨性,均匀性差;此外,镀膜工艺中需要退火处理, 对基体材料有一定限制。磁控溅射制备的 TiO2 薄膜具有高质量、高密度、高强 度、膜基结合性好等特点,且工艺稳定易于控制,重复性好,适合大面积沉积镀膜。 本文采用直流反应磁控溅射法及能量过滤磁控溅射技术,以玻璃为衬底制备了纳 TiO2 和纳米
TiO2/ 1 实验 1.1 纳米 TiO2 薄膜的制备 用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底 上制备纳米 TiO2 薄膜。镀膜设备为 CS-300 型磁控溅射镀膜机,Ti 靶纯度为

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