IS检测方法
发布时间:2023-01-25 21:34:52 来源:文档文库
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>>>>ISO14644-3第一版2005-12-15洁净室及相关受控环境>>>>>——第3>>>>部分:…..检测方法洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法目次前言引言1范围2引用标准3术语与定义3.1概述3.2空气悬浮粒子测量3.3空气过滤器与系统3.4气流3.5静电测量3.6测量仪器与测量条件3.7占用状态4检测方法4.1洁净室检测4.2原理5检测报告附件A(资料)各种检测的选择和实施顺序附件B(资料)检测方法附件C(资料)检测仪器文献(略)ReferencenumberISO14644-3:2005(E前言国际标准化组织(ISO)为全球各国标准化组织(ISO成员)的联合会,国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。ISO的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣,它就有权参加该技术委员会的工作。国际上凡与ISO保持联系的政府的或是非政府组织,均可参与此项工作。ISO在电气技
>>>>>术标准化的各项事宜中,与国际电气技术委员会(IEC)进行紧密合作。国际标准草案是按照ISO/IEC指导条例第2部分的法则制定的。技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅,以待表决。至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。ISO14644的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。ISO不对识别任何或全部这类专利权负责。ISO14644-3是由洁净室及相关受控环境技术委员会ISO/TC209编写的。ISO14644在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分:——第1部分:空气洁净度分级——第2部分:证明一直符合ISO14644-1的检测和监测技术条件——第3部分:检测方法——第4部分:设计、建造和启动——第5部分:运行——第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)——第8