Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、启动UPS打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。2、启动循环水冷机。按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。检查出水口压力在2～3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。若有报警，检查水位，按Res键。3、启动空气压缩机。确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为5～6bar。4、确认主机后两个电源开关状态为On。此时，主机前面板上红灯亮。5、按下黄键。说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。6、按下绿键。按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：7、启动SmartSEM软件。用户名：system 密码：8、检查真空值，等待真空就绪。注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。9、开启灯丝。10、开TV，检查样品台。11、装样品(见第二部分)。12、加高压(EHT)。13、观察样品。待机状态1、关闭高压(EHT)。2、关闭SmartSEM软件。注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。3、关Windows。4、必要时，关能谱、EBSD。5、按下黄键此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。待机状态启动1、按下绿键。按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：
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