名词解释

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二次电子：二次电子是指样品原子被入射电子轰击出来的核外电子。

背散射电子：背散射电子是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。

表面形貌衬度 ：由于试样表面形貌差异而形成的衬度。

原子序数衬度：由于试样表面物质原子序数（或化学成分的）差异而形成的衬度。

名词解释

1、扫描电镜的放大倍数与透射电镜的放大倍数相比有何特点？

当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫描的幅度为AS，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度为AC，则扫描电子显微镜的放大倍数为：

由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸AC是固定不变的，因此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度AS来实现的。

2、电子束入射固体样品表面会激发哪些信号？它们有哪些特点和用途？见资料

3、扫描电镜的分辨率受哪些因素影响？如何提高？

1）扫描电子束的束斑直径：束斑直径越小，分辨率越高。

2）入射电子束在样品中的扩展效应：

与样品原子序数有关，轻元素样品，梨形作用体积；重元素样品，半球形作用体积

3）操作方式及所用的调制信号：

4）还受信噪比、杂散磁场、机械振动等因素影响。

4、二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度各有何特点?

二次电子像分辨率比较高，所以特别适用于显示形貌衬度。

一般来说，凸出的尖棱、小粒子、较陡斜面二次电子产额多，图像亮；平面上二次电子产额小，图像暗；凹面图像暗。

背散射电子分辨率低，能量高，以直线轨迹逸出样品表面，对背向检测器的样品表面，无法收集到背散射电子而成一片阴影，图像衬度大，会掩盖许多细节。

5、比较波谱仪和能谱仪在进行微区化学成分分析的优缺点？

波谱仪分析的元素范围广、探测极限小、分辨率高，适用于精确的定量分析。其缺点是要求试样表面平整光滑，分析速度较慢，需要用较大的束流，从而容易引起样品和镜筒的污染。

能谱仪虽然在分析元素范围、探测极限、分辨率、谱峰重叠严重，定量分析结果一般不如波谱等方面不如波谱仪，但其分析速度快（元素分析时能谱是同时测量所有元素），可用较小的束流和微细的电子束，对试样表面要求不如波谱仪那样严格，因此特别适合于与扫描电子显微镜配合使用。

6、波谱仪和能谱仪的工作原理？

特征X 射线就能看成具有固定波长的电磁波，不同元素就对应不同的特征X 射线波长，如果不同X 射线入射到晶体上，就会产生衍射，根据Bragg公式：2dsinθ=nλ

可以选用已知面间距d的合适晶体分光，只要测出不同特征射线所产生的衍射角2θ，就可以求出其波长λ，再根据公式就可以知道所分析的元素种类，特征X 射线的强度是从波谱仪的探测器(正比计数管)测得。根据以上原理制成的谱仪称为波长色散谱仪(WDS)

7、扫描电镜的工作原理及在材料研究中的应用？

工作原理：（1）由电子枪发射出来的电子束，经栅极聚焦后，在加速电压作用下，经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使电子束在样品表面扫描。

（2）由于高能电子束与样品物质的交互作用，结果产生了各种信息：二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。

（3）这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应，也就是说，电子束打到样品上一点时，在显像管荧光屏上就出现一个亮点。扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序、成比例地转换为视频传号，完成一帧图像，从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像。

应用：表面形貌衬度应用：a．材料表面形态（组织）观察b．断口形貌观察c．磨损表面形貌观察d．纳米结构材料形态观察e．生物样品的形貌观察

原子序数衬度应用:1、微织构分析2、取向差异分析3、真实的晶粒尺寸4、相鉴定及相比计算5、应变测量6、再结晶度的测量

8、扫描电镜的成像原理与透射电镜有何不同？

它是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。

9、能针对SEM、TEM、包括OM图片说明各自图像衬度形成原理？

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/16c728972a160b4e767f5acfa1c7aa00b42a9d22.html