科学研究论文统计表

3

金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响

白亦真

吉林大学学报（理学版）

2006，44卷5期，784-786

4

Deposition of ZnO films on freestanding CVD thick diamond films

孙剑,白亦真

Chinese Physics Letters

2006，Vol. 23, No. 5, 1321-1323

SCI

5

自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究

孙剑，杨天鹏，白亦真

真空科学与技术学报

2006，26卷，增刊，140-142

6

基片温度对反应射频磁控溅射法制备掺杂CeO2电解质薄膜的影响

郝斌魁,姜雪宁,张庆瑜

真空科学与技术

2006年Vol.26，134.

7

多针电晕增强大气压辉光放电稳定性研究

齐冰,任春生,王德真

物理学报

2006，55（1），331-336.

SCI

8

A study of cross-gas-flow to stabilize an atmospheric pressure glow plasma in a multi-pin-to-multi-cupped-plane negative corona discharge

Ren C.S. Ma Teng-Cai. Wang De-Zhen

Journalof Electrostatics

Volume: 64, Issue: 1, January, 2006, pp. 23-28。

SCI

9

Uniform glowlike plasma source assisted by preionization of spark in ambient air at atmospheric pressure

Qi Bing. Ren Chunsheng. Wang Dezhen

Applied

Physics Letters

v 89, n 13, 2006, p 131503.

SCI

10

Graft co-polymerization of acrylic acid onto the linen surface induced by DBD in air

C.S. Ren, D.Z. Wang, Y.N. Wang

Surface

andCoatings Technology

Volume201, Issue 6,2006, 2867-2870

SCI

11

RC-Coupled Atmospheric Glow Discharge in Air

Zhang Yu-tao. RenChun-sheng. Ma Teng-cai

Plasma science & technology

2006July,8438-442

SCI

12

低能高束流氩离子源的结构及性能

任春生, 牟宗信,

王友年

核 技 术

第29 卷，第10 期，730-733。

13

高密度等离子体增强非平衡磁控溅射沉积Cu膜研究

齐雪莲,

任春生, 马腾才

大连理工大学学报

第46卷第4期2 0 0 6 年7 月，473-477

14

生长温度对Ge2Sb2Te5薄膜的相变行为以及微观结构的影响

都健,潘石

电子显微镜学报

2006，25， 328-332

15

基片温度对反应射频磁控溅射法制备掺杂CeO2电解质薄膜的影响

郝斌魁,

姜雪宁, 张庆瑜

真空科学与技术

2006，26（增刊），134-139

16

Uniform glowlike plasma source assisted by preionization of spark in ambient air at atmospheric pressure

齐冰,

任春生,

王德真

Applied

Physics Letters

89,131503(2006)

SCI

17

The role of metastable atoms in a homogeneous atmospheric pressure barrier discharge in helium

王艳辉,

王德真

PlasmaScience and Technology

8(5),539 (2006)

SCI

18

Multipeak behavior and mode transition of a homogeneous barrier discharge in atmospheric pressure helium

王德真, 王艳辉

Thin Solid Films

506-507,384(2006)

SCI

19

介质阻挡均匀大气压氮气放电特性研究

王艳辉, 王德真

物理学报

第55卷，第11期，5923（2006）

SCI

20

ECR－PECVD方法低温制备多晶硅薄膜

冯庆浩, 秦福文, 吴爱民

半导体技术

第 31第 5期

SCI

21

Investigation of secondary electron emission effects in plasma immersion ion implantation with dielectric substrates

李雪春, 王友年

Thin Solid Films

506-507,307

(2006).

SCI

22

Investigation of dual radio-frequency driven sheaths and ion distribution bombarding an insulator substrate

王丽红, 戴忠玲, 王友年

Chinese.Phys. Lett.

23,688(2006).

SCI

23

Characteristics of single and dual radio-frequency (RF) plasma sheaths

戴忠玲, 王友年

Front. Phys. China

2, 178 (2006)

SCI

24

平板直流负偏压碰撞鞘层的Child-Langmuir 定律的拟合公式

钱丹娜,

李雪春,

王友年

核聚变与等离子体物理

Vol.26, 72(2006).

SCI

25

等离子体刻蚀工艺的物理基础

戴忠玲,

毛明,

王友年

物理

35卷，第8期 （2006）

SCI

26

一种新型大气压毛细管介质阻挡放电冷等离子体射流技术

孙娇,

张家良, 王德真

物理学报

Vol.55No.1 2006

P344-349

SCI

27

Simulation and Analysis of the Electrical Feedback System during the Process of Imaging in Scanning Probe Microscope

张琨,

潘石,

吴世法

Chinese Journal of Electronics,

2006,15(3):403-407

SCI

28

激光捕获技术及其发展

霍鑫,

潘石

光学技术

32(2):311-315,2006

EI

29

Fabrication of Optical Fiber Probe Nano-tips by Heated Micro-pulling .bined with Static Chemical Etching

霍鑫,

潘石,

吴世法

Proc of the 1st IEEE international conference onNano/Micro Molecular Systems

18-21,2006

SCI

30

CH4或CH4+Ar介质阻挡放电中的离子能量和类金刚石膜制备

刘艳红, 张家良, 王卫国

物理学报

55(2006)1458-1463

SCI

31

利用图像中的探针信息获取探针形貌的方法

邢立伟,

潘石,

张琨

电子显微学报

2006,25（4）：328-3322006, 25（5）：390-394

32

近场纳米光纤探针腐蚀制备技术概述

霍鑫,

潘石

电子显微学报

2006, 25（5）：450-453

33

近场拉曼技术发展概述

刘琨,

吴世法, 潘石

电子显微学报

2006, 25（5）：445-449

34

生长温度对Ge2Sb2Te5薄膜的相变行为以及微观结构的影响

都健,

潘石,

吴世法

电子显微学报

2006,25（4）：328-332

35

磁控溅射生长CdxZn1-xO薄膜的表面形貌、结晶特性和光学性能研究

郭建成,

潘石,

吴世法

电子显微学报

2006, 25（4）：316-319

36

Numerical study on effect of external magnetic field, current profile, arc current and arc column radius on helical instabilities of arcs

宫野,

郑殊,

张建红

VACUUM

2006,80p1211-1215

SCI

EI

ISTP

37

平板直流负偏压碰撞鞘层Child-Langmuir 定律的拟合公式

钱丹娜, 李雪春, 王友年

核聚变与等离子体物理

EI

39

Preparation of YSZ film by EPD and its application in SOFCs

贾 莉, 吕 喆, 黄喜强

Journal of Alloy and .pounds

2006，424，299-303

40

Laser Fabrication of Low Resistivity Electrode on Glass

Dongjiang Wu, Juan Zhuang, Xuyue Wang

Materials Science

532-533(2006)PP. 345-348

41

肝病变白鼠血清荧光光谱的小波变换研究

秦少平, 丁建华, 李建东

光电子 激光

2006，17（5）：634-637

42

Influence of cathode temperature on gas discharge and growth of diamond films in DC-PCVD processing

白亦真, Zengsun Jin

Diamond& Related Materials

14 (2005) 1494 – 1497

43

High rate growth of thick diamond films by high-current hot-cathode PCVD

白亦真, Zengsun Jin

Journal of Crystal Growth

280 (2005) 539–544

44

Numerical simulation and experimental evidence for surface modification by high current pulsed electron beam

Ying QIN,

C. DONG,

X. G. WANG

Materials Science Forum

2005, Vol. 475 - 479, 3673-3676

45

Simulations of dual rf-biased sheaths and ion energy distributions arriving at a dual rf-biased electrode

关振群,

戴忠玲,

王友年

Phys. Plasma

12, 123502 (2005)

46

Two-dimensional numerical simulation of the splitting and uniting of current-carrying zones in a dielectric barrier discharge

张远涛,

王德真,

王艳辉

Physics of Plasma

2005，12, 103508

47

Influence of impurities on the uniform atmospheric pressure discharge in helium

王艳辉

王德真

Physics of Plasma

2005，12, 023503

48

Two-dimensional temperature distributioninsidea hemisphericalbowl-shaped target for plasma source ion implantation

刘成森,

王艳辉

王德真

Chinese Physics

2005，14, 1, 163

49

A Two-Flux Radiation Model in Study of Helical Instability of Arcs

宫野,

郑殊,

徐翔

Chinese Physics

2005, 22(5)p1187

50

脉冲偏压电弧离子镀Ti/TiN纳米多层薄膜的结构与硬度

李谋，

李晓娜，

林国强

材料热处理学报

（2005）12月

No copy

51

纯镁在强流脉冲电子束轰击下的表面熔化和汽化行为

邹建新，

秦颖,

高波

材料热处理学报

2005，Vol. 26，No 5, 36-41

52

钛离子注入类金刚石碳膜的结构与性能的研究

柳翠,

苟伟,

牟宗信

功能材料

2005 vol36

No 2.301-303

53

强流磁约束金属离子注入源

牟宗信，

龙振湖,

李国卿

核聚变与等离子体物理

2005/01P74-77

54

脉冲偏压对电弧离子镀Ti/TiN纳米多层薄膜显微硬度的影响

赵彦辉，

林国强，

李晓娜

金属学报

Vol41.No.10,pp1106-1110

55

电容耦合分区放电等离子体的研究

马腾才张禹涛任春生

核聚变与等离子体物理

2005 Vol.25

No2 130-132

56

Inactivation of Yeast by Dielectric Barrier Discharge(DBD) Plasma in Helium at Atmospheric Pressure

Hong Yu， Zhi Long Xiu ，Chun-sheng Ren

IEEE Transactions on Plasma Science

VOL. 33, NO. 4, AUGUST 2005

57

大气压下氦气DBD放电等离子体失活酵母菌机理的研究

金英任春生王德真

第十二届全国等离子体科学技术会议

2005.8.27-29

上海

58

射频等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术

齐雪莲任春生王友年

“TFC’05全国薄膜技术学术研讨会

2005.9.2-3大连

59

介质阻挡放电对聚乙烯表面改性研究

王坤任春生王德真

第十二届全国等离子体科学技术会议

2005.8.27-29

上海

60

牟宗信，

李国卿，

秦福文

物理学报

2005/03P1378-1384

61

关庆丰，

安春香，

秦颖

物理学报

2005，Vol. 54 ,No. 8，3927-3933

62

脉冲偏压对电弧离子镀TiNbN硬质薄膜相结构的影响

肖微，

赵彦辉，

林国强

真空科学与技术学报

第25卷，第5期，2005,p319-322

63

Numerical Simulation and Experimental Evidence for Surface Modification by High Current Pulsed Electron Beam

秦颖,

董闯,

王晓钢

Materials Science

475-479,3673-3676 (2005)

64

Numerical study on effect of external magnetic field, current profile, arc current and arc column radius on helical instabilities of arcs

宫野,

郑殊,

张建红

The 5th International Symposium on Applied Plasma Science

2005年9月26-29日，美国夏威夷

65

调制磁场清除柱形等离子体发生器中的尘埃颗粒

奚衍斌

物理学报

54卷，164 ，2005.1；中国物理学会

66

Five-Dimensional Cosmological Scaling Solution

常葆荣，

刘宏亚，

刘焕英

Mod.Phys.Lett

A20 (2005) 923-928

67

Induced Phantom and 5D Attractor Solution in Space-Time-Matter Theory

刘宏亚，

刘焕英，

常葆荣

Mod.Phys.Lett

A20 (2005) 1973-1982

68

Correspondence Between 5D Ricci-Flat Cosmological Models and Quintessence Dark Energy Models

徐立昕，

刘宏亚，

常葆荣

Mod.Phys.Lett

A20 (2005) 3105-3114

69

大气压介质阻挡丝状放电时空演化数值模拟

张远涛，

王德真，

王艳辉

物理学报

vol.54, No.10 p4808

2005.10

70

Effect of Pulse Waveform on Charging Effects in Plasma Immersion Ion Implantation with Dielectric Substrates

李雪春，

王友年

The 8th International workshop on PBII&D

Chengdu

2005.9

71

Numerical Simulation and Experimental evidence for Surface Modification by High Current Pulsed Electron Beam

Ying Qin

Materials Science

475-479, 2005

72

强流脉冲电子束轰击纯镁表面的熔化与蒸发

秦颖

材料热处理学报

v 26, n 5, October, 2005

73

Stable and diffuse atmospheric

pressure glow plasma in a

multipoint-to-plane configuration in air

Chun-sheng

Ren，

Teng-cai Ma;; De-zhen Wang

IEEE Transactions on Plasma Science33,

Issue 1, Part 2, Feb 2005 Page(s):210 - 211

74

直流非平衡磁控溅射ICP增强电离薄膜沉积技术

任春生，

王友年，

张家良

第十二届全国等离子体科学技术会议

2005.8.27-29

上海

75

An important teaching Link of affecting the talented person trains

Wangxueying

International Conference on Physics Education (The4th China-Japan-US Symposium on Physics Education and Experiment in University)

2005.8

76

Ultra-sensitve near-field Raman detection technequie

吴世法，

刘琨，

潘石

The 2th SPIE International Symposium on advanced optical manufacturing and testing technologies

77

超衍射极限分辨AF/PSTM型多功能光学显微镜

吴世法，

章 健，

潘 石

光学学报

Vol.25，No.8 1099-1104，2005

78

原子力与光子扫描隧道组合显微镜

吴世法，

章 健，

潘 石

光学学报

25（8）：1099～1104，2005

79

A method to fabricate the bi-functional bent optical probes of AF/PSTM

潘 石，

宋林峰，

吴世法

Proc. SPIE Int. Soc. Opt. Eng.

5635, 432 -436(2005)

80

AFM Imaging of  Proteus Species

潘 石，

孙 伟，

宋林峰

Proc. SPIE Int. Soc. Opt. Eng.

5635:52-56  (2005)

81

侧蚀对脊形掺铒光波导放大器净增益的影响

李成仁，

宋昌烈，

李淑凤

半导体光电.

)

2005, 26(1):14~19(EI检索)

82

高浓度掺铒\镱铒共掺硅酸盐玻璃丝的净增益测量

李成仁，

宋昌烈，

李淑凤

激光技术.

2005,5

83

脊形掺铒Al2O3光波导放大器级联特性的模拟计算.

李成仁，

宋昌烈，

李淑凤

光子学报.

2005,34(6)

84

掺铒Al2O3薄膜、镱铒共掺Al2O3薄膜光致发光特性比较

李成仁，

宋昌烈，

李淑凤

半导体光电.

2005.26(3)

85

Simulations of dual rf-biased sheaths and ion energy distributions arriving

at a dual rf-biased electrode

关振群，

戴忠玲，王友年

PHYSICS OF PLASMAS

12, 123502 （2005）

American Institute of Physics

86

双层干压制备阳极支撑的氧化锆薄膜燃料电池

刘克艳，

吕 喆，

贾 莉

电源技术

2005，vol29, No 11

87

重力沉降法结合共烧结法制备YSZ薄膜

贾 莉，

吕 喆，

刘志国

电池

2005，vol35, No 5

88

恒流电泳沉积YSZ电解质薄膜的燃料电池研究

贾 莉，

吕 喆，

植 柱

电源技术

2005，vol29, No 5

89

肾病患者血清荧光光谱分析初探

吴敏，

丁建华，

李建东

激光杂志

2005，26（2），83－84

92

“Numerical Solutions of Flow and Transfer Evolution in a Plasma Reactor with Carrier-Gas Injection”

郑殊

“7th APPCPST & 17th SPSM”

Fukuoka， Japan

June,2004

93

“A Two-Dimensional Axial Symmetric Numerical Simulation of Electron Cyclotron Resonance Plasma”

郑殊

“7th APPCPST & 17th SPSM”

Fukuoka， Japan

June,2004

94

Secondary-electron emission effects in plasma immersion ion implantation with dielectric substrates

Li Xue-Chun Wang You-Nian

Chinese Physics Letters

Vol.21,No.2(2004)

95

Modes of Homogeneous Barrier Discharge at Atmospheric Pressure in Helium

王艳辉王德真

Chinese Physics Letters

Vol. 21, No.11, 2234(2004)

96

Numerical Simulation of Atmospheric Pressure Glow Discharges Controlled by

Dielectric Barrier

王德真王艳辉 张远涛

7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology， Fukuoka, Japan

June 29-July 2, 2004

97

A method to fabricate the bi-functional bent optical probes of AF/PSTM

Pan Shi， Song Linfeng，Wu Shifa

SPIE

2004

98

AFM Imaging of Proteus Species A method to fabricate the bi-functional bent optical probes of AF/PSTM

Pan Shi ，Sun Wei，Song Lingfeng

SPIE

2004

99

镱铒共掺杂硅酸盐玻璃光致发光强度随泵浦波长的变化

李成仁，宋昌烈，李淑凤

光学技术（中国兵工学会，北京理工大学）

2004年第四期

100

Coupling of fiber-waveguide amplifier

李淑凤，宋昌烈，李成仁

2004亚太光电子、光通信国际会

2004

101

Simulations of ion transport in a collisional radio-frequency plasma sheath

戴忠玲，王友年

Phys. Rev. E 69, 036403 (2004)

2004

102

Secondary-electron emission effects in plasma immersion ion implantation with dielectric substrates

李雪春，王友年

Chinese Phys. Lett.

21, 364 (2004).

103

介质靶表面的充电效应对等离子体浸没离子注入过程中鞘层特性的影响

李雪春，王友年

物理学报

53卷，第8期 （2004）

104

大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算

郭慧梅，林国强*，王德真

金属学报，中国科学院

2004年10月，第40卷第10期P1064-1068

105

脉冲偏压电弧离子镀沉积温度的计算.

白晓，

林国强*，

董闯

金属学报，

中科院

2004年10月，第40卷第10期P1069-1073 .

106

Experiments and theoretical explanation of droplet elimination phenomenon in pulsed-bias arc deposition.

林国强，赵彦辉，郭慧梅

J.Vac.Sci.Technol. A,美国真空学会

22 (4): 1218-1222 Jul/Aug 2004.

107

Preparation of TiN films by arc ion plating using dc and pulsed biases

黄美东, 董闯，林国强

J.Vac.Sci.Technol.,A， 美国真空学会

22 (2): 250-254 Mar-Apr 2004 .

108

Simplification of the plasma load of negative pulse bias source used in arc ion plating

戚栋, 王宁会，林国强

Journal of Materials Science & Technology

19: 97-98 Suppl. 1 2003 .

中科院

109

GQ Lin etc. Control of phase structure of(TiNb)N films deposited by PBAIP.

林国强，肖微，赵彦辉

The 11th China-Korea Sym. on Film Mat. Chengdu, China,

2004.7.基金委

110

Experimental determination of the physical model of microparticles reduction in pulse-bias arc ion plating.

赵彦辉, 林国强，董闯

The 11th China-Korea Sym. on Film Mat. Chengdu, China,

2004.7

111

Elimination Mechanism of macroparticles of pulsed-bias arc ion plating

林国强, 赵彦辉, 黄美东

第五界环太平洋先进材料国际会议

20042004年，北京.

112

Corrosion behavior of TiN films prepared by vacuum arc deposition and nitrogen ion beam dynamic mixing implantation

Ren Chun-sheng,

Mu Zong-xing,

Ma Teng-cai

Surf. Coat. Technol.

Vol. 185, No. 2-3, 2004, 210-214.

113

Application of sensitive trace gas detectors in post-harvest research

S.T.Persijn,

J.Oomens,

Qingxu Yu

in 'Production Practices and Quality Assessment of Food Crops', Eds. R. Dris, S.M. Jain, Postharvest Treatment and Technology

Vol.4

(2004) 1-16

114

Investigation of diamond-like carbon films synthesized by dual-target unbalanced magnetron sputtering

LIU Cui (柳翠),

LI Guo-Qing（李国卿）, GOU Wei (苟伟)

Chinese Physic Letter

2004，Vol 21，2249-2251

115

非平衡磁控溅射沉积系统伏安特性模型研究

牟宗信,

李国卿,

车德良

物理学报

2004，Vol.53，No.6,P1994-1998

116

同轴磁场对非平衡磁控溅射系统放电特性的影响

牟宗信,

李国卿，

黄开玉

核聚变与等离子体物理

V24，N2，2004，P141-146（EI）

117

非平衡磁控溅射的离子束流控制

牟宗信,

李国卿,

黄开玉

核聚变与等离子体物理

V24，N3，2004，P225-230

118

非平衡磁控溅射类金刚石碳膜性能的研究

柳翠, 李国卿, 张成武

材料研究学报

2004,2,171-176

119

不锈钢等离子体源渗氮-多弧离子镀膜复合技术

苟伟,

李国卿,

柳翠

热处理学报

2004，4，57-59

120

Si3n4陶瓷材料的高温氧化理论机器抗氧化研究现状

冯建基,

李国卿，

牟宗信

中国表面工程

2004年第4期P15-19

121

Temperature-stress fields and related phenomena induced by a high current pulsed electron beam

Ying Qin,

Jianxin Zou, Chuang Dong

Nucl. Instrum. Methods phys. Res. B

225，2004, 544-554

122

Numerical Simulation for Surface Modification by High Current Pulsed Electron Beam

Ying Qin,

Chuang Dong,

Xiaogang Wang

Thirteenth International Conference on PFAM XIII, Singapore

December 6-8, 2004

123

Numerical simulation of Thermal-mechanical process during High Current Pulsed Electron Beam (HCPEB) treatment

Jianxin Zou,

Ying Qin,

Chuang Dong

J. Vac. Sci. Technol.

A22(3), 2004，545-552

124

强流脉冲电子束纯铝表面改性过程的

热力学模拟

邹建新,

秦 颖,

吴爱民

核技术

27（7），2004，519－524

EI

125

全息照相实验的技巧

秦 颖,李琦

大学物理实验

2004，1

126

127

.parison between characteristics of radio-frequency sheaths and pulse sheaths with insulating substrates

戴忠玲, 王友年

Surface and Coatings

Technology

165, (2003) 224.

128

介质阻挡均匀大气压辉光放电数值模拟研究

王艳辉，王德真

物理学报

52卷，7期，

1694（2003）

129

大气压辉光放电多电流峰特性和模式转换

王德真,

王艳辉，

张元涛

第十届全国等离子体科学与技术会议

2003.9.18 , 合肥

130

脉冲强流电子束轰击对玻璃表面状态的影响

王承遇, 陶瑛，林国强

硅酸盐学报

2003年1月，第31卷第1期P99~102.

131

偏压对电弧离子镀薄膜表面形貌的影响机理

黄美东,

林国强,

董闯

金属学报

2003年5月，第39卷第5期P510~515

132

脉冲偏压电弧离子镀低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能

黄美东，孙超，林国强

金属学报

2003年5月，第39卷第5期P516~520

133

电弧离子镀尘埃颗粒在脉冲等离子体鞘层中的受力及运动状态研究

郭慧梅，林国强，王德真

TFC’03全国薄膜技术学术研讨会，宁波.

P112, 2003年9月

134

脉冲偏压下的电弧离子镀基体沉积温度的计算预测

白晓，黄美东，林国强

TFC’03全国薄膜技术学术研讨会，宁波.

P109, 2003年9月

135

脉冲偏压电弧离子镀的低温沉积与大颗粒净化效应

林国强，赵彦辉，白晓

TFC’03全国薄膜技术学术研讨会，宁波.

P108, 2003年9月

136

Thick TiN films prepared by vacuum arc

deposition and high energetic nitrogen ion beam dynamic mixing implantation

REN Chun-sheng，MEI Xian-xiu，MA Teng-cai

Vacuum

Vol. 72, 2003, 41-46

137

电弧等离子体的数值模拟

郑殊，刘悦，宫野

第三届全国青年计算物理学术会议大会报告

2003年10月12— 16日，大连。会议论文集（摘要）P41

138

氮化铝单晶薄膜的ECR－PEMOCVD低温生长研究

秦福文，顾彪，徐茵

物理学报

Vol.52，No.5(2003):1240－1244

139

蓝宝石衬底的ECR等离子体清洗与氮化的RHEED研究

秦福文，顾彪，徐茵

半导体学报

Vol.24，No.6(2003):668－672

140

GaN缓冲层上低温生长AlN单晶薄膜

秦福文，顾彪，徐茵

半导体光电

24（1）(2003):32－36

141

Effects of Substrate Pretreatment Conditions on Quality of GaN Films.

秦福文，顾彪，徐茵

半导体光子学与技术（英文版）

9（1）(2003):26-29

142

有开放约束磁场磁控溅射系统等离子体引出

牟宗信，李国卿，柳翠

真空科学与技术，

中国真空学会

2003，N4，P243-247

143

Metal ion implantation source with an additional magnetic field

Mu Zongxin，Long Zhenhu，Li Guoqing

The 4th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2003)Jeju, Korea

2003,9,28-10,4

144

Research on the discharge properties of unbalanced magnetron sputtering system

Mu Zongxin，Li Guoqing

The 4th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2003)

Jeju, Korea,

2003,9,28-10,4