1 (以下为27至31页的译文 P．27：
范围
0-13 mm 0-500mil
范围
0－1500 um
0-60 mil N1，N1A及FNF1范围 精度（＊） 分辨率 ±3％ 或 ±2.5 um 低于100um时，为0.1 um ±1％ 或 ±2.5 um² 高于100um时，为1 um至1500 um ±3％ 或 ±0.1 mil 低于5 mil时，为0.01 mil ±1％ 或 ±0.1mil² 高于5 mil时，为1 mil F3范围
精度（＊） ±3％ 或 ±0.05 mm ±2％ 或 ±0.05 mm² ±3％ 或 ±0.2mil ±2％ 或 ±2mil²
分辨率
低于2 mm时，为1 um 高于2 mm时，为10 um 低于100 mil时，为0.1mil 高于100 mil时，为1 mil
＊ 取大者
2 膜片贴在待测厚度上时的值
P．28： 探头性能 探头类型 最小凸面直最小凹面直径 径
分离式铁探头 F1或代替F1操作使4mm(0.16” 25mm(0.98” 用的F1 2套包 F2或代替F2操作使4mm(0.16” 25mm(0.98” 用的F1 2套包 F1直角 4mm(0.16” 25mm(0.98” F1 2直角 4mm(0.16” 25mm(0.98” F1伸缩 4mm(0.16” 25mm(0.98” F1 2伸缩 4mm(0.16” 25mm(0.98” F3 15mm(0.59” 40mm(1.57”
分离式非铁探头
N1 N1直角
22mm(0.87” 22mm(0.87”
25mm(0.98” 25mm(0.98”
净空
最小样片直径
85mm(3.35” 4mm(0.16” 85mm(3.35” 4mm(0.16” 25mm(0.98” 25mm(0.98” 30mm(1.18” 