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光刻胶配比作业指导书

发布时间：2017-08-05 来源：文档文库

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1.目的：规范光刻胶的配比，使其形成标准化。 2.范围：适用于湿制程光刻胶的配制。 3.职责：
3.1作业员：按文件规范作业并做好用量记录。
3.2生产组长：负责所需材料领取、保管及配胶现场5S维护。 3.3质管部：负责操作过程监控及粘度标准确认。 3.4仓库部：负责材料发放。 4.调配细责
4.1. 所用器（工）具：秒表、粘度杯、光刻胶、稀释剂、漏斗、量杯、无尘布、乳胶手套、光刻胶空瓶子。 4.2作业程序：
4.2.1 拿取一瓶新光刻胶(1GAL，合3785ml，打开瓶盖。
4.2.2 同时拿出一个装光刻胶的空瓶子。
4.2.3按光刻胶与稀释剂为3:1的配比配制使用胶，将光刻胶一分为二，即每瓶光刻胶约1892.5ml。
4.2.4 用清洗干净的量杯量取630ml稀释剂，然后将稀释剂经漏斗倒入已分好的光刻胶瓶内。
4.2.5 盖紧瓶盖，把已配好的光刻胶瓶轻轻放倒于地面，来回滚动15分钟
使其更加均匀，后测量其粘度。
4.2.6 把粘度OK后的光刻胶归位，停放12h后方可使用。
4.2.7 用上述4.2.4～1.2.6之方法，将另一半（1892.5ml）光刻胶进行配
制待用。 4.3粘度测量方法：
4.3.1 取出一个量杯（其容积为500ml），将调配OK的光刻胶倒入其中300ml。 4.3.2 拿出粘度杯，将粘度杯灌满。完全提起粘度杯，使其底部高于量杯的
最高液位时，开始用秒表计时，直到流液由线状变为点状并确认粘度杯里无光刻胶为止，停止计时。 4.3.3 查看胶粘度，其粘度要求33±1S 4.3.4 如测量粘度不在范围内：粘度>34S时可适量添加稀释剂，粘度<32S

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时可适量添加光刻胶。时间越长说明光刻胶粘度越大，时间越短说明光刻胶粘度越小。
4.3.5 每次配胶均需测量三次粘度，以平均值为最终粘度。 4.3.6 领胶、配胶须至少提前一个班次。 4.4光刻胶回收使用 4.4.1 光刻胶回收胶粘度较之前增加1.5S-2S,以5%之比例(体积比进行稀释剂添加，再将光刻胶瓶倒于地面，来回滚动15分钟后，测量其粘度（粘度偏差时参考4.3.4步骤改调）。
4.4.2 回收胶调配搅拌，粘度测量OK，静置30分钟后即可使用。回收胶循环使用不超过3次，超过3次要将其报废。
注：洗机时积液流至回收瓶，必须在洗机完成后将其报废。 5.管制重点
5.1.调配OK后的光刻胶用红笔在标签上标识调配时间、调配粘度、调配人并将标签贴于瓶体正面。
5.2.每日领取光刻胶及稀释剂必须以书面形式明确记录。 5.3.配胶时注意管控所用器具的洁净度，防止光刻胶污染。 6.清洁规则
6.1. 将已配好的光刻胶和原胶、稀释剂分开放置到指定区域。
6.2. 调配好后整理现场，工具归位，如有胶洒出即用无尘布沾稀释剂清洁干净。

7. 异常处理流程：
生产发现异常班组长确认改善 NG OK 停产工艺人员处理品质确认

OK 注：异常处理时间
5分钟异常班组长确认并改善

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30分钟异常组长知会主管 1小时异常主管知会经理 8.相关参考文件：
略。 9.附件/ 表单
表单 GHO-7D-？《光刻胶粘度滴定记录表》
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本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/7a371272b94ae45c3b3567ec102de2bd9605de6f.html