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Twyman-Green干涉实验
实验者：杨亿斌(06325107合作者：吴聪(06325096
（中山大学物理系，光信息科学与技术06级3班B19）
2009年5月19日
【实验目的】
1.了解激光干涉测量的原理；
2.掌握微米和亚微米量级位移量的激光干涉测量方法及应用场合；3.了解激光干涉测量方法的有点及应用场合。
【实验仪器】
激光器、反射镜、物镜、半反射镜、成像透镜、CMOS光电探测器、波差测试试件。
【实验原理】
1.精密位移量的激光干涉测量方法
本实验采用Twyman-Green干涉仪是著名的迈克尔逊白光干涉仪的变形。与后者相比，它具有以下特点：
（1）它使用两列平面波进行干涉，相干得到等厚干涉条纹（2）Twyman-Green干涉仪只能使用单色光源。
（3）Twyman-Green干涉仪的参考光束和测试光束经过成像透镜聚焦后，受光阑限制，观察者的位
置固定。利用Twyman-Green干涉仪可以研究反射或透射光学元件的表面形貌或波面形状，其原理图如图1所示
为了研究反射物表面形貌或其与标准平面镜的偏差，将反射物放在干涉仪的一支光路上。本实验用He-Ne激光器做光源。激光通过扩束准直系统形成平面波，入射至半反射镜，此平面波可表示为：
1/13
U(zAeikz(1
此平面波经半半反射镜后一分为二，一束射向参考镜M1，被反射后成为参考光束。
URAReiR(zR(2
另一束透射过半反射镜，经测量镜M2反射后，成为待测光束。
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