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正在进行安全检测...

发布时间：2024-01-10 18:42:05 来源：文档文库

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号CN201810204154.0（22）申请日2018.03.13（71）申请人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市宁六路219号

（10）申请公布号CN108195494A
（43）申请公布日2018.06.22
（72）发明人倪海彬;周盈;常建华;王婷婷;葛益娴;刘清惓;倪波;刘向（74）专利代理机构南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙

代理人秦秋星
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法
（57）摘要

本发明公开了一种基于狭缝表面等离激元
效应的光学压力传感器及压力检测方法，所述光学压力传感器主要构成为：刻蚀有脊形波导阵列的基底，在其表面溅射一层金属膜，外部加上套筒保护器件内部结构。基底上的一维或二维金属阵列之间的间隙(gap在特定频率光子激发下形成Gap‑SPP。压力使基底发生形变，进而使阵列之间gap的大小改变，进而引起SPP波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本发明基于SPP
共振模式的变化来检测压力的变化。对比基于法泊腔压力传感器，本发明对光纤距离敏感膜的距离不敏感，因此可以减少温度的影响，同时易于加工制造。
法律状态
法律状态公告日
2018-06-222018-06-222018-07-17
法律状态信息
公开公开
实质审查的生效
法律状态
公开公开
实质审查的生效

权利要求说明书
一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书
一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法的说明书内容是....请下载后查看

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/0592ac5269ec0975f46527d3240c844768eaa0c6.html